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PlasCalc系列等离子体监控系统

可在仅3ms内测量200～1100nm波长范围内的等离子体的发射。PlasCals测量系统为数据的获取提供过程控制和精密的数据运算。

  • 1.0nm(FWHM)光学解析度
  • 200～1100nm波长范围
  • 快速建立和保存实验方法

查看通用的等离子体测量系统USB4000光谱仪

编辑工具

编辑工具可以使用户简单、快速地设置、建立和保存实验方法。利用该工具可以对多数复杂的等离子体过程建立简便而有效的步骤设置：例如测量薄膜沉积情况、监测等离子蚀刻、检查表面清洁处理、分析等离子室健康控制情况、监测反常的污染和排放现象等。

用于简单的等离子体诊断的多重工具

PlasCalc等离子体监控系统配有操作软件，所提供的完整的公式编辑器可以进行所有需要的数学和算法功能。我们同时提供一个可选配的放射波长数据库，可以另外单独购买，它能够提供种类的鉴定；而波长编辑器则使用户完成信噪比的优化。操作界面包含两个窗口，可以同时显示真实的光谱和所有控制过程信息。

SPECIFICATIONS

Spectral range:

200-1100 nm

Optical resolution:

1.0 nm (FWHM)

D/A converter:

14 bit

Digital Input/Output:

8 x TTL

Analog Output:

4 x [0-10V]

Interface:

USB 1.1

Power consumption:

12 VDC @ 1.25 A

Power requirements:

90-240 VAC 50/60 Hz

Dimensions:

257 mm x 152 mm x 263 mm

Weight:

5 kg

 
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