荷兰OKO薄膜变形镜，MMDM变形镜、PDM变形镜、波前传感器自适应光学器件

17-ch 15-mm micromachined membrane DM with tip-tilt stage
37-ch 15-mm micromachined membrane DM
1-channel 10-mm micromachined membrane DM (focusator)
39-ch 30-mm micromachined membrane DM
79-ch 30-mm micromachined membrane DM
37-ch 30-mm piezoelectric DM
19(18)-ch 30mm piezoelectric DM optimized for correction of low-order aberrations
109-ch 50-mm piezoelectric DM
79-ch 50-mm piezoelectric PDM
19-ch linear micromachined DM for ultrafast optics
17 (central)+2-ch linear micromachined DM for ultrafast optics
39-ch linear micromachined DM for ultrafast optics
20-ch linear piezoelectric DM for ultrafast optics
Electromagnetic tip-tilt mirror (extreamly low-cost)
Piezoelectric tip-tilt mirror
Low-cost tip-tilt mirror
96-channel 1 inch membrane DM with embedded electronics
39(38)-channel 50mm PDM optimized for correction of low-order aberrations
AOS with a 37-ch 30-mm piezoelectric DM
AOS with a 50-mm 79-ch piezoelectric DM
AOS with 79-ch 50-mm micromachined membrane DM
AOS with 20-ch linear piezoelectric DM for ultrafast optics
AOS with 50-mm 39-ch low-order optimized piezoelectric PDM
Breadboard AOS with a 37-ch 30-mm piezoelectric DM
Breadboard AOS with a 15-mm 17-ch membrane DM
Breadboard AOS with a 50-mm 109-ch piezoelectric DM
Standard Shack-Hartmann sensor (UI-1540, hex-127, pitch=0.3mm, F=18mm)
Standard Shack-Hartmann sensor (UI-1540, orthogonal MLA, pitch=0.15mm, F=10mm)
Standard Shack-Hartmann sensor (UI-3370, orthogonal MLA, pitch=0.3mm, F=18mm)
High Voltage Bipolar Amplifier
USB DAC 40
Ethernet DAC 40
High Voltage Amplifier
20-channel HV amplifier board
A4MEMS 3-ch High-Voltage amplifier

38通道 50mm口径压电变形镜（PDM）

荷兰OKO公司38通道50mm口径压电变形镜（PDM）。该变形镜包含38个柱状压电执行器。这些执行器底部固定在基座上，顶部与镜面连接固定。镜面涂有反射层，可产生较高的反射率。镜面形状由执行器的控制电压来决定。变形镜外壳背面有一个圆形开口，可以让残余激光穿过变形镜而不影响设备内部正常使用。

该装置可用于激光、望远镜、眼科学、显微镜和一般成像光学中的光学像差（如离焦、像散、彗差等）快速动态校正。

该变形镜初始面形为略微弯曲的球面。这个弯曲球面是由镜面涂层中的应力引起的。它不会影响镜面的参数，但是，在将变形镜并入光学系统时应予以考虑。当系统闭环运行时，可通过主动“校平”消除该初始面形，使该变形镜面形变成一个平面或任意曲面。

由于执行器的迟滞效应，在PDM使用过程中，初始像差可能会发生变化并与参考球面的偏差更大。这种偏差是执行器的响应函数叠加的缘故，在闭环控制的系统中基本无影响，但可能会略微降低校正范围。

79通道微机械 薄膜变形镜 (MMDM 30mm)

荷兰OKO公司推出了一款微机械薄膜变形镜（MMDM），具有 79 通道，镜面直径为30mm 。具有新颖的致动器几何形状，可以准确地近似多个低阶Zernike模式，达到优异的波前校正效果。
这款变形镜可以连接 2 个 USB 或以太网DAC模块，能同时被 2 个40通道高压放大单元进行驱动。

微机械薄膜变形镜(MMDM)

荷兰OKO薄膜变形镜，MMDM变形镜、PDM变形镜、Shack-Hartmann波前传感器等自适应光学器件

薄膜变形镜一般采用金属薄膜作为镜面材料，通过微机械加工（MEMS）工艺制成，因此又称MEMS变形镜。

薄膜的边缘固定在周围的框架结构上，薄膜下方有控制电极。
薄膜一般具有多层结构，主要包括电介质层(dielectic stack)、金属层(metal)、氮化硅层(Silicon nitride)等。厚度一般为0.5~10微米，直径为5~50毫米。

工作原理：

当在薄膜下方的电极上施加电压时，电极和薄膜之间产生静电吸引（eletrostatic attraction），从而导致薄膜发生形变。

如果在所有的电极上施加相同的电压，则薄膜会产生球形的形变（球形凹陷）。

在不同的电极上施加不同电压（即不同的电压组合），则可以使薄膜产生不同的形变。

偏置控制（双向变形）：

由于电极与薄膜之间只存在吸引力而不能产生排斥力，因此薄膜只能朝着电极的方向产生形变（即凹面形变），而不能产生凸面形变。

在实际使用过程中，为了使薄膜产生双向变形（能凹能凸），通常在校准光路的时候给变形镜先施加一个偏置电压（如下图所示），使变形镜产生偏置形变，这样变形镜就可以此为基础产生凹凸变形。

控制精度：

薄膜变形镜不存在磁滞效应，形变重复性较好。

根据控制电压和形变之间的定量关系，可以实现镜面形变的高精度控制，可用于前馈控制系统（无反馈控制）。

电功耗：

由于薄膜变形镜仅靠静电吸引产生形变，驱动电流极小，因此虽然驱动电压达到上百伏，但消耗的电功率较低。

实验中曾测量到40通道的MMDM在工作模式下功耗不超过1W。

压电陶瓷变形镜(PDM)

压电变形镜主要利用压电执行器的伸缩带动镜面产生形变。镜片一般由玻璃、石英或者硅制成，镜面镀以金属，镜片与下方的压电执行器通过粘合剂固定。通过改变压电执行器阵列的电压组合，可以使镜面产生不同的形变。
OKO公司生产的压电变形镜的执行器间距最小为4.3mm，镜面最大形变（maximum stroke）6微米，执行器间形变量在1-3微米之间，滞环在7%-15%范围内。由于压电执行器能产生较大的形变，因此压电变形镜可用于校正高阶、大幅度的波前畸变，并且执行器数量可以进行较大规模拓展。
在变形镜(DM)下方分布一定数量的执行器，执行器的上下运动，变形镜(DM)表面产生连续形变，从而对波前实时校正。
PDM很容易与OKO 的FrontSurfer波前传感器集成成一个完整的闭环自适应光学系统，帧频为15至100 Hz。
对于激光光束的直接优化，DM可以与BeamTuner优化控制器相结合，由优化软件和焦斑(亮度)传感器组成。

应用包括光学像差的动态校正在高功率激光，天文和成像系统。

37(19)个压电支柱驱动器

反射镜面涂覆AI层

驱动器最大电压400V

初始镜面值RMS＜0.9μm

用于低阶光学像差的快速动态校正